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毕竟近年虽然已经传出西方在光刻机方面的研究,其实已经早就突破了微米级,已经在向纳米级发展,但终究还没有实际产品出来。
要长光所能早点告诉大家这个成果,自己尽早将其进行在光刻机上应用,国产光刻机的技术指标那可就能和西方最先进光刻机的技术指标并驾齐驱了!
虽然只是暂时性的,但总算是追上过不是?
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